Fine-Controlled Surface Modification Techniques in III-V Compound Semiconductor Materials(Atomic Layer Epitaxy).

DOI Web Site 53 References

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  • ＩＩＩ‐Ｖ族化合物半導体材料の表面精密加工技術（原子層エピタキシー）
  • 3 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ ザイリョウ ノ ヒョウメン セイミツ カ
  • Atomic Layer Epitaxy
  • 原子層エピタキシー

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  • Shinku

    Shinku 36 (2), 73-80, 1993

    The Vacuum Society of Japan

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