Soft X-ray spectroscopy and its application to surface region and interface study.

DOI Web Site

Bibliographic Information

Other Title
  • 軟Ｘ線分光法とシリコン化合物・薄膜系
  • ナンXセン ブンコウホウ ト シリコン カゴウブツ ハクマクケイ

Search this article

Abstract

物質に電子を入射させると, 内殻電子の励起によりX線 (光子) が放出されることがある.軟X線分光法とは1～50nm付近の波長領域の分光学で, 固体の場合, 価電子帯の電子状態を調べるのに適している. とくに, 光の放射や吸収を伴う遷移の選択則により, 価電子帯の電子状態を, 波動関数の対称性に分けて明きからかすることが可能である.ここでは, 新しい軟X線分光装置の製作と, シリコン化合物 (遷移金属シリサイドなど) の価電子状態, および, 薄膜接合系についての軟X線分光法による研究から得られる知見を中心に報告する.

Journal

  • Shinku

    Shinku 33 (11), 848-853, 1990

    The Vacuum Society of Japan

Keywords

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top