多結晶Si薄膜トランジスタ製作へのプラズマ技術の応用  プラスチック基板上多結晶Si薄膜トランジスタの作製

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タイトル別名
  • Polycrystalline Si Thin Film Transistor Fabrication on a Plastic Substrate
  • カイセツ プラスチック キバン ジョウ タケッショウ Si ハクマク トランジスタ サクセイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 44 (6), 567-571, 2001

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (20)*注記

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