Cleaning with Supercritical Carbon Dioxide
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- SAITO Norio
- Tohoku National Industrial Research Institute
Bibliographic Information
- Other Title
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- 超臨界二酸化炭素による洗浄技術
- チョウリンカイ 2サンカ タンソ ニ ヨル センジョウ ギジュツ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 43 (6), 654-659, 2000
The Vacuum Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204065611904
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- NII Article ID
- 10004562458
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 5391754
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles