微小ギャップの排気  チャンネル内ガス流の流量減少を説明するための円錐凹凸粗さモデル

書誌事項

タイトル別名
  • Conic Peak/Dimple Roughness Model for Explaining the Reduction of Gas Flow Rate in Channels
  • チャンネル ナイ ガスリュウ ノ リュウリョウ ゲンショウ オ セツメイ スル タメ ノ エンスイ オウトツ アラサ モデル

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (10), 956-961, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (16)*注記

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