An Advance and Prospects in Sputtering Technology

DOI Web Site 3 Citations 10 References
  • ISHIBASHI Keiji
    Electron Device Equipment Engineering Div., Canon ANELVA Corporation

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  • 企業から見たスパッタリング技術の進展と今後への期待
  • キギョウ カラ ミタ スパッタリング ギジュツ ノ シンテン ト コンゴ エ ノ キタイ

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  • Shinku

    Shinku 50 (1), 9-14, 2007

    The Vacuum Society of Japan

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