炭素系薄膜の最近の話題 ダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長

書誌事項

タイトル別名
  • Development of New Carbon Thin Films. Heteroepitaxial Growth of Diamond Films.
  • ダイヤモンド ハクマク ノ ヘテロエピタキシャル セイチョウ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 47 (5), 396-401, 1996

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (22)*注記

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