シリコンエッチング技術　（１）　　シリコン半球による結晶異方性エッチングの加工特性評価

DOI Web Site 被引用文献2件 参考文献10件

書誌事項

タイトル別名
  • Characterization of Anisotropic Wet Etching Properties of Single-Crystal Silicon by Using Hemispherical Specimen
  • カイセツ シリコン ハンキュウ ニ ヨル ケッショウ イホウセイ エッチング ノ カコウ トクセイ ヒョウカ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 51 (8), 773-779, 2000

    一般社団法人 表面技術協会

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (10)*注記

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