マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用  半導体と真空装置

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タイトル別名
  • Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Vacuum Equipment in Semiconductor Device Manufacturing.
  • ハンドウタイ ト シンクウ ソウチ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 48 (11), 1043-1049, 1997

    一般社団法人 表面技術協会

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参考文献 (6)*注記

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