Application of Silicon Etching
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- ESASHI Masayoshi
- Tohoku Univ. New Industry Creation Hatchery Center
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- ONO Takahito
- Fac. of Eng., Tohoku Univ.
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- TANAKA Shuji
- Fac. of Eng., Tohoku Univ.
Bibliographic Information
- Other Title
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- シリコンエッチング技術 ２ シリコンエッチング技術のアプリケーション
- シリコン エッチング ギジュツ ノ アプリケーション
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 51 (9), 874-879, 2000
The Surface Finishing Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204115240576
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- NII Article ID
- 10006250021
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 5496944
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles