Microactuator
-
- FUJITA Hiroyuki
- Institute of Industrial Sci., The Univ. of Tokyo
Bibliographic Information
- Other Title
-
- シリコンエッチング技術 ２ マイクロアクチュエータ
- カイセツ マイクロ アクチュエータ
Search this article
Journal
-
- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
-
Journal of The Surface Finishing Society of Japan 51 (9), 892-898, 2000
The Surface Finishing Society of Japan
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204115242624
-
- NII Article ID
- 10006250084
-
- NII Book ID
- AN1005202X
-
- ISSN
- 18843409
- 09151869
-
- NDL BIB ID
- 5497016
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles