書誌事項
- タイトル別名
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- Plasmaless Dry Cleaning of CVD System with Fluorine-Containing Gases.
- フッソケイ ガス ニヨル ハクマク タイセキ ソウチ ノ クリーニング
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収録刊行物
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- 表面技術
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表面技術 47 (6), 493-497, 1996
一般社団法人 表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204115818880
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- NII論文ID
- 10002256485
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- NII書誌ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL書誌ID
- 3976390
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
