Overview of Etching Process for Fabricating Microstructures
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- SHIKIDA Mitsuhiro
- Graduate School of Engineering, Nagoya University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 最新のエッチング技術とモノづくり エッチング技術を駆使した微細なモノづくり
- エッチング技術を駆使した微細なモノづくり
- エッチング ギジュツ オ クシシタ ビサイナ モノズクリ
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 59 (2), 84-87, 2008
The Surface Finishing Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204118949504
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- NII Article ID
- 10021169336
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
- http://id.crossref.org/issn/09151869
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- NDL BIB ID
- 9370631
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
