X線光電子分光法を用いたダイヤモンドライクカーボンの化学構造解析

DOI Web Site 被引用文献9件 参考文献85件
  • 鷹林 将
    広島大学大学院先端物質科学研究科量子物質科学専攻
  • 岡本 圭司
    広島大学大学院先端物質科学研究科量子物質科学専攻 トーヨーエイテック (株)
  • 中谷 達行
    トーヨーエイテック (株)
  • 坂上 弘之
    広島大学大学院先端物質科学研究科量子物質科学専攻
  • 高萩 隆行
    広島大学大学院先端物質科学研究科量子物質科学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Chemical structural analysis of diamondlike carbon by X-ray photoelectron spectroscopy
  • Xセン コウデンシ ブンコウホウ オ モチイタ ダイヤモンドライク カーボン ノ カガク コウゾウ カイセキ

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抄録

Diamondlike carbon (DLC) is an amorphous carbonaceous material composed of sp2 carbon, sp3 carbon, and hydrogen.We have analyzed the chemical structure of DLC by using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). In this paper, we reviewed our DLC analysis. The C ls spectra of the DLC films were analyzed using the Doniach-Šunjic function convoluted with a Gaussian function. The spectra were decomposed into four components as follows: sp3 carbon with carbon-carbon bonds (C-C sp3 carbon, 283.8 eV), sp2 carbon with carbon-carbon bonds (C-C sp2 carbon, 284.3 eV), sp2 carbon with hydrogen-carbon bonds (H-C sp2 carbon, 284.8 eV), and sp3 carbon with hydrogen-carbon bonds (H-C sp3 carbon, 285.3 eV).

収録刊行物

  • 炭素

    炭素 2008 (235), 280-289, 2008

    炭素材料学会

被引用文献 (9)*注記

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参考文献 (85)*注記

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