書誌事項
- タイトル別名
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- Fatigue Analysis of Micro Resist Pattern Analyzed by the Direct Collapse Method with Atomic Force Microscope
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ オ モチイタ ビサイ レジストドットパターン ノ ヒロウ カイセキ
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抄録
原子間力顕微鏡(AFM)の探針から微細レジストパターンに荷重を加えて破壊することで，パターンの破壊荷重を定量測定できる。直径が160nmであり，高さが593nmであるドット形状パターンに．一定荷重を繰り返し加えることで疲労破壊を引き起こした。疲労がない場合のパターンの破壊荷重は約90nNであった。しかしながら，疲労を加えた場合は,1.,3nN-f53.1nNの低荷重でもパターン破壊が生じた。荷重を105nNまで増加させた場合，顕著に破壊が生じた。本手法により，パターン内部に蓄横される疲労を評価できることを確認した。
収録刊行物
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- Journal of The Adhesion Society of Japan
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Journal of The Adhesion Society of Japan 36 (10), 404-407, 2000
一般社団法人 日本接着学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204276258944
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- NII論文ID
- 10005754095
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- NII書誌ID
- AN10341672
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- ISSN
- 21874816
- 09164812
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- NDL書誌ID
- 5512198
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可