書誌事項
- タイトル別名
-
- Fatigue Analysis of Micro Resist Pattern Analyzed by the Direct Collapse Method with Atomic Force Microscope
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ オ モチイタ ビサイ レジストドットパターン ノ ヒロウ カイセキ
この論文をさがす
抄録
原子間力顕微鏡(AFM)の探針から微細レジストパターンに荷重を加えて破壊することで,パターンの破壊荷重を定量測定できる。直径が160nmであり,高さが593nmであるドット形状パターンに.一定荷重を繰り返し加えることで疲労破壊を引き起こした。疲労がない場合のパターンの破壊荷重は約90nNであった。しかしながら,疲労を加えた場合は,1.,3nN-f53.1nNの低荷重でもパターン破壊が生じた。荷重を105nNまで増加させた場合,顕著に破壊が生じた。本手法により,パターン内部に蓄横される疲労を評価できることを確認した。
収録刊行物
-
- Journal of The Adhesion Society of Japan
-
Journal of The Adhesion Society of Japan 36 (10), 404-407, 2000
一般社団法人 日本接着学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001204276258944
-
- NII論文ID
- 10005754095
-
- NII書誌ID
- AN10341672
-
- ISSN
- 21874816
- 09164812
-
- NDL書誌ID
- 5512198
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可