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- 室 英夫
- 千葉工業大学
書誌事項
- タイトル別名
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- Basics and Developments of Physical Sensors
- フィジカルセンサ ノ キソ ト ハッテン
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抄録
The physical sensors have been playing an essential role in realizing various electronic control systems. This paper describes the basics of these physical sensors including their classification, operation principals and the relevant MEMS sensors, followed by the history of their developments.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 134 (7), 169-174, 2014
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204460499712
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- NII論文ID
- 130004849021
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 025641216
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可