History of Silicon Accelerometers
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- Suzuki Kenichiro
- NEC
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- Tanigawa Hiroshi
- NEC
Bibliographic Information
- Other Title
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- シリコン加速度センサの開発の流れ
- シリコン カソクド センサ ノ カイハツ ノ ナガレ
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Journal
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- IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
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IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 116 (7), 252-255, 1996
The Institute of Electrical Engineers of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204461670400
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- NII Article ID
- 130000771617
- 10011205923
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- NII Book ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL BIB ID
- 4020953
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles