THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価

DOI Web Site Web Site 被引用文献3件 参考文献7件
  • 石井 雄大
    東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻
  • 中田 陽介
    信州大学環境・エネルギー材料科学研究所
  • 時実 悠
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム
  • 瀧田 佑馬
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム
  • 金森 義明
    東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻
  • 南出 泰亜
    理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム
  • 羽根 一博
    東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of MEMS-driven Wire Grid Polarizers in THz Region and Evaluation of the Optical Characteristics
  • THzハヨウ MEMS クドウ ワイヤグリッド ヘンコウコ ノ セイサク ト コウガク トクセイ ヒョウカ

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抄録

<p>Micro-electromechanical-systems driven wire grid polarizers (MEMS-WGPs) were proposed and fabricated. MEMS-WGPs mainly consisted of an Au cantilever array and two kinds of electrical leads. One lead was connected with cantilevers and the other lead was located under the cantilevers. Because the cantilevers were electrostatically actuated downward by applying voltage between the two leads and made contact with the next cantilever, transmittance could be changed. Static wire grid polarizers were also fabricated and measured their optical characteristics in THz region, as preliminary step toward MEMS-WGPs. MEMS-WGP was successfully fabricated and the cantilever array was electrostatically actuated. In THz region, transmittance of the fabricated MEMS-WGP was changed from 14.7% to 10.6% on average by applied voltage of 200V.</p>

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