テトラメトキシシランからトリメトキシシランへの気相転換

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タイトル別名
  • Gas-Phase Conversion of Tetramethoxysilane to Trimethoxysilane
  • テトラメトキシシラン カラ トリメトキシシラン エ ノ キソウ テンカン

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抄録

テトラメトキシシランからトリメトキシシランへの気相転換の可能性についての検討を，熱力学的解析および実験により行った．テトラメトキシシランは，トリメトキシシランから塩素系化合物を経ずに多結晶シリコンを製造するという，新たに提案されたプロセスでの副生物である．0.1 MPa, 1023 Kの条件で，Si–Cu触媒を用いることにより，1%を超えるトリメトキシシラン収率が可能であることが示された．

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