フッ素リサイクルに向けた半導体排ガス分解技術の開発

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献1件
  • 荘所 正
    岩谷産業株式会社 滋賀技術センター
  • 井上 吾一
    岩谷産業株式会社 滋賀技術センター
  • 小池 国彦
    岩谷産業株式会社 滋賀技術センター
  • 竹内 章浩
    中部電力株式会社 技術開発本部エネルギー応用研究所
  • 岩佐 慶夫
    中部電力株式会社 技術開発本部エネルギー応用研究所
  • 安井 晋示
    名古屋工業大学 大学院工学研究科つくり領域

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Semiconductor Exhaust Gas Decomposition for Fluorine Recycle System

説明

半導体製造プロセスにおける排ガスからのフッ素リサイクルシステムを考案した．これはPFC（パープルオロコンパウンド）分解部とフッ素固定化部にわかれており，PFC分解方式として電気加熱技術を用いた．排ガスの成分をNF3とSiH4と設定し，実機の設計に必要な分解特性をラボスケールにて評価した．得られたそれぞれの分解率から見かけの反応速度を算出し，実機に必要な分解炉の体積を導出した．導出した体積から実証試験機を製作し実プロセスの流量を処理した結果，NF3は650˚Cで，SiH4は600˚Cで99.997%以上分解できることを確認した．

収録刊行物

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (1)*注記

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