書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Solution-based Organic Coating Layer for Display : Photo active Passivation Layer for aSi TFT
- 招待講演 ディスプレイ用塗布型有機絶縁膜の開発--aSi TFT用感光性塗布型有機保護膜
- ショウタイ コウエン ディスプレイヨウ トフガタ ユウキ ゼツエン マク ノ カイハツ aSi TFTヨウ カンコウセイ トフガタ ユウキ ホゴ マク
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説明
液晶などのディスプレイのTFTアレイ製造において、製造設備投資額やランニングコストの低減を可能とする、塗布型有機材料への期待が高まっている。現在でも広く使用されている化学的気相製膜法(Chemical Vapor Deposition,以下CVDと略す)で製膜された無機膜に比べ、有機膜は吸水しやすいなどの問題を有していたため、その使用範囲は限定的である。今回我々はこの問題を解決し、aSiTFT用の塗布型有機保護膜を開発した。この保護膜を用いたTFTデバイスは、ディスプレイの製造コストを低減し、さらにデバイスの低消費電力化を可能とするものである。
収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告
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映像情報メディア学会技術報告 35.11 (0), 15-20, 2011
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204528644352
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- NII論文ID
- 110008594005
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 24241970
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 11026933
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
