微細CMOSの多層配線における光学特性の評価(携帯電話用カメラ,デジタルスチルカメラ,ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ,モジュール,特別企画「CCD誕生40周年記念講演-黎明期-」)

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献5件
  • 池田 誠
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Analysis on Characteristics of Light Transmission for Multiple-metal Layer Nano-meter CMOS
  • 微細CMOSの多層配線における光学特性の評価
  • ビサイ CMOS ノ タソウ ハイセン ニ オケル コウガク トクセイ ノ ヒョウカ

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説明

微細CMOSの多層の配線層においては、その微細な構造により光学特性が大きく影響を受ける。本稿では、光透過行列による理論計算と実際のチップの実測結果から光学特性を評価している。また、配線層における配線ピッチが光の波長以下となることから偏光特性などを持たせることが可能となり、それらに関しての評価も行っている。

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