1.12umセル低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ : SmartFSI^[○!R](固体撮像技術および一般～IEDM, SPIE EI, ISSCC特集～)

DOI Web Site 参考文献6件
  • 仙石 直久
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 平田 達也
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 立川 景士
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 中村 哲也
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 渡辺 尚志
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 宮川 良平
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 大槻 浩久
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 大野 重幸
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 武田 友胤
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 山本 浩一
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 鈴木 繁
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 矢野 尚
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 折笠 憲一
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 網川 裕之
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 荻田 進一
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 森 誉志也
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 佐々木 善満
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 村上 雅史
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット
  • 寺西 信一
    パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

書誌事項

タイトル別名
  • 1.12um Cell Low-Noise Front Side Illumination Image Sensors with Light Pipe : SmartFSI^[○!R]
  • 1.12umセル低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ : SmartFSI
  • 1.12um セル テイノイズ ヒョウメン ショウシャガタ ドウハロ コウゾウ イメージセンサ : SmartFSI

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説明

1.12umセルサイズ低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ:SmartFSI^[○!R]を開発した。独自の屈曲ライトパイプ構造の採用、画素レイアウトやフォトダイオード部のポテンシャルの最適化等により、BSIを凌駕する量子効率72%の高感度と、読み出しノイズ0.9eleの低ノイズを実現した。

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参考文献 (6)*注記

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