ポリベンゾオキサゾール前駆体中の塩素イオン濃度のコロージョンへの影響

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  • 池田 修
    ソニー株式会社マイクロシステムズネットワークカンパニーコアテクノロジー開発本部コロージョン解析センター
  • 伊藤 文就
    ソニー株式会社マイクロシステムズネットワークカンパニーコアテクノロジー開発本部コロージョン解析センター
  • 長谷川 匡俊
    東邦大学理学部化学科

書誌事項

タイトル別名
  • Influence of the Concentration of the Chlorine Ion in the Polybenzoxazole Precursors on the Corrosion of Metals

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Polybenzoxazoles (PBO) precursors consisting of bis (3-hydroxy-4-amino) biphenyl (p-HAB), 2, 2'-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (AH6FP), and terephthaloyl choloride (TPC) showed high solubility in common organic solvents. PBO precursors were polymerized from silylated p-HAB (50mol-%), AH6FP (50mol-%), and TPC (100mol-%), in NMP containing LiCl (about 1 wt-%) . The PBO precursor was precipitated in a large excess of water to remove some ionic impurities and to refine it. The concentration of the chlorine ion in the PBO precursors analyzed by ion chromatography was about 500 ppm, after the precipitate was repeatedly washed with fresh water. The corrosion of copper or silver metals was significantly suppressed.

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