Hg Cd Teの有機金属気相成長

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  • Metalorganic vapor-phase ePitaxy of HgCdTe
  • HgCdTe ノ ユウキ キンゾク キソウ セイチョウ

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抄録

有機金属気相成長法によるHgCdTeの成長についてその成長特性を概説する.この材料の成長には原料として有機カドミウム,有機テルル,金属水銀が用いられている.しかしながら金属水銀を原料として使用するため成長装置はIII-V族半導体の成長装置とは異なった構成になるとともに,HgCdTeの成長特性もIII-V族半導体の場合には生じないような特異な性質;を示すようになる.ここではHgOdTe成長原料,成長特性,成長装置について問題点およびその改良の方法について述べる.

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 64 (2), 141-144, 1995

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (15)*注記

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