有機V族原料を用いた有機金属気相成長
書誌事項
- タイトル別名
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- Metalorganic vapor phase epitaxy using organic group-V sources
抄録
実用炉への応用を目的とする有機V族原料を用いた有機金属気相成長法(MOVPE法)について述べる.有機V族原料の直接供給法を用いることにより,多数枚同時成長が可能な減圧バレル型炉への,多量の有機V族原料の安定供給が可能であることを示した.この方法を用いて成長させたInGaP/GaAs系ヘテロ結晶は,高品質かつ高均一な結晶特性を示した.さらに,InGaP/lnGaAs系低雑音高電子移動度トランジスター (low noise HEMT) を試作した結果,優れた素子特性が得られた.これらの結果を踏まえ,有機V族原料を用いたMOVPE技術の今後を展望する.
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 62 (8), 806-809, 1993
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204596742784
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- NII論文ID
- 130003593203
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- COI
- 1:CAS:528:DyaK2cXkt1Sqtw%3D%3D
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- ISSN
- 21882290
- 03698009
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可