Waste-water treatment and reuse technology for semiconductor manufacturing plant

DOI
  • TANAKA Norio
    Facihty Engineering Department, LSI Production Center, OKI Electric Co., Ltd.

Bibliographic Information

Other Title
  • 半導体製造工場における廃水処理および水・薬品の再利用技術

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半導体工場の環境対策は,大気汚染,水質汚濁,騒音,振動,産業廃棄物削減などのほか,省エネルギー,地球温暖化防止などがあげられる.その中の工場廃水,薬品などの環境対策としては,純水クローズドシステムや薬品の回収,リサイクルシステムなどの導入が進められている.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 69 (3), 297-300, 2000

    The Japan Society of Applied Physics

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001204596872704
  • NII Article ID
    130003594110
  • DOI
    10.11470/oubutsu1932.69.297
  • COI
    1:CAS:528:DC%2BD3cXhvVWnsb8%3D
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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