Surface Study by RHEED-TRAXS

DOI Web Site
  • INO Shozo
    Department of Physics, Faculty of Science, University of Tokyo.
  • DAIMON Hiroshi
    Department of Physics, Faculty of Science, University of Tokyo.
  • HASEGAWA Shuji
    Department of Physics, Faculty of Science, University of Tokyo. Advanced Research Laboratory, Hitachi Ltd.
  • MATSUMOTO Hiroatsu
    Department of Physics, Faculty of Science, University of Tokyo.

Bibliographic Information

Other Title
  • RHEED励起X線全反射角分光 (TRAXS) 法による表面の研究
  • RHEED レイキ Xセン ゼン ハンシャカク ブンコウ TRAXS ホウ ニ

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Abstract

RHEEDの電子線の励起により表面より放射される特性X線を検出する際に, X線の取り出し角をX線の全反射の臨界角にして測定すると,表面原子の検出感度が著しく増大する現象が見いだされた.この現象を利用すると表面原子の検出感度がきわめて高くなるので,表面の元素分析法として有効であるばかりでなく,表面の原子配列構造に関する情報も得られる.さらに,数原子層以上の厚い膜の研究や物質の境界面の研究も行なうことができるので,この方法が大きく発展する可能性が生じている.

Journal

  • Oyo Buturi

    Oyo Buturi 56 (7), 843-850, 1987

    The Japan Society of Applied Physics

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