DRAM用高誘電率薄膜キャパシタの形成技術

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タイトル別名
  • (Ba<sub>x</sub>, Sr<sub>1-x</sub>) TiO<sub>3</sub> Films for Gbit Scale DRAMs
  • DRAMヨウ コウ ユウデンリツ ハクマク キャパシタ ノ ケイセイ ギジュツ

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