水ジェットターゲットを用いたレーザー生成プラズマからの極端紫外光の高効率化

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タイトル別名
  • Enhancement of Conversion Efficiency of Extreme Ultraviolet (EUV) Emission from a Laser-Produced Plasma by Use of Water Jet Target
  • ミズ ジェットターゲット オ モチイタ レーザー セイセイ プラズマ カラ ノ キョクタン シガイコウ ノ コウコウリツカ

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抄録

Extreme ultraviolet (EUV) radiation at the wavelength of around 13 nm was observed from a laser-produced plasma using continuous liquid water-jet. The EUV conversion efficiency (CE) was found to depend strongly on the laser focal spot size near the plasma expansion diameter. The maximum EUV CE was observed to be 0.38%/2π sr at 13.0nm in 2% bandwidth.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 33 (2), 126-129, 2005

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (19)*注記

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