書誌事項
- タイトル別名
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- Study on the Field Evaporation in the Laser-assisted Three-dimensional Atom Probe Based on the Thermal Diffusivity
- レーザー ホジョ サンジゲン アトムプローブ ニ オケル ネツ カクサンリツ ニ モトズク デンカイ ジョウハツ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
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説明
熱拡散率の異なるAlやW，GaAsを試料とし，レーザー補助三次元アトムプローブ測定時のレーザー照射の影側に注目し，電界蒸発の遅れに関して解析した．この解析で重要な因子となる曲率半径はTEM観察像より見積もった．また，検出位置に依存した飛行距離の差を三平方の定理に基づいて補正した．補正後のレーザー照射側と影側で検出されたイオンの飛行時間を比較することにより，熱拡散率の極めて大きなAl試料においても，レーザー照射由来の電界蒸発の遅れが観測された．この遅れは，熱拡散率が小さい試料ほど顕著であった．著者らは，影側での遅れを二次曲線で近似し，二次の係数の逆数をレーザー補助電界蒸発における熱因子と定義した．この熱因子は，熱拡散率と相関があることが示され，レーザー照射直後の電界蒸発における重要な因子であると結論した．
収録刊行物
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- 分析化学
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分析化学 63 (10), 809-815, 2014
公益社団法人 日本分析化学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204661002112
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- NII論文ID
- 130004704062
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- NII書誌ID
- AN00222633
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- NDL書誌ID
- 025861451
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- ISSN
- 05251931
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- JaLC
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
