書誌事項
- タイトル別名
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- Chronological overview and future trends in semiconductor and manufacturing equipment industries.
- ハンドウタイ オヨビ ソノ セイゾウ ソウチ サンギョウ ノ ハッテン ケイイ
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収録刊行物
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- 精密機械
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精密機械 51 (12), 2172-2176, 1985
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204731533312
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- NII論文ID
- 130003962376
- 110001292033
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- NII書誌ID
- AN00130014
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- NDL書誌ID
- 3055632
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- ISSN
- 03743543
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles