Measurement and Evaluation of Micromechanisms. Vibration Measurements of Micromachined Gyroscope.

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  • マイクロ機構の測定・評価技術　マイクロジャイロの振動特性評価
  • マイクロ ジャイロ ノ シンドウ トクセイ ヒョウカ

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マイクロジャイロの開発においては, そのキーエレメントである微小振動子の振動特性評価が重要である.当社では, レーザ変位計を利用した評価システムにより, 振動子の振動モードとその周波数, 駆動・検出モードのQ値などの振動特性を評価している.<BR>振動特性の評価結果より, 表面マイクロマシニングにより作製したマイクロジャイロは, FEMシミュレーションで予測された振動モードを持ち, ジャイロで利用する駆動・検出モードは雰囲気ガスによるダンピングの影響が大きいことが分かった.駆動・検出モードのQ値は, 0.1Pa以下の圧力で飽和し, その値は各々2800, 16000であった.特に, 検出モードはスクイズフィルムダンピングの影響が大きく, 検出モードのQ値の圧力依存性から, マイクロジャイロが高感度に動作する圧力範囲が推測できた.

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