マイクロ機構の測定・評価技術 マイクロ部品の形状・寸法測定

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タイトル別名
  • Measurement and Evaluation of Micromechanisms. Measurement of Geometric Feature and Dimension of Micro Parts.
  • マイクロ ブヒン ノ ケイジョウ スンポウ ソクテイ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 63 (3), 327-331, 1997

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (9)*注記

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