メカニカルリソグラフィ　　ナノインプリンティング法によるナノ構造体の創成

DOI Web Site 被引用文献1件 参考文献16件

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タイトル別名
  • Nanostructure Fabrication by Nanoimprint Technology
  • ナノインプリンティングホウ ニ ヨル ナノ コウゾウタイ ノ ソウセイ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 70 (10), 1223-1227, 2004

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (16)*注記

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