触針式表面性状校正装置にみる最新技術と不確かさ解析

書誌事項

タイトル別名
  • Trend of Surface Texture Measuring Instrument for Calibration and Uncertainty Analysis
  • ショクシンシキ ヒョウメン セイジョウ コウセイ ソウチ ニ ミル サイシン ギジュツ ト フ タシカ サ カイセキ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 76 (9), 991-994, 2010

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (3)*注記

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