パワーデバイス用ダイヤモンド結晶

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タイトル別名
  • Crystalline Diamond Substrates for Power Devices
  • パワーデバイスヨウ ダイヤモンド ケッショウ

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抄録

<p>1．はじめに</p><p>パワーデバイス応用に資するダイオードを作る場合，オン状態での高い伝導度に加えて，オフ状態での高い耐圧，さらに低い漏れ電流といった優れた逆方向特性が強く求められる。逆方向特性の改善には，高品質結晶の利用が不可欠である。パワーデバイス応用で先行している4H-SiCで</p>

収録刊行物

  • 電気学会誌

    電気学会誌 137 (10), 689-692, 2017

    一般社団法人 電気学会

参考文献 (3)*注記

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