酸化物半導体の導電率に及ぼすガス吸着効果

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タイトル別名
  • Effects of Gas Adsorption upon Electrical Conductivity of Oxide Semiconductors
  • サンカブツ ハンドウタイ ノ ドウデンリツ ニ オヨボス ガス キュウチャク

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抄録

酸化物半導体の導電率に及ぼすガス吸着の効果を調べた.<br>電子移行過程を伴う化学吸着は半導体の導電率の変化をもたらす. 酸素の化学吸着はよく理解されている. 化学吸着酸素種は温度上昇に伴い次のように移っていく. 1/2O4-→O2-→2O-→2O2-. ほとんどのn型酸化物半導体の導電率は, 空気中で測定すると熱履歴を示す. この現象は化学吸着酸素の挙動で説明できる.<br>SnO2, ZnO, Fe2O3などの酸化物半導体がガスセンサー用素材としてよく用いられる. 被検ガスの化学吸着による半導体の導電率の変化を説明するために, 表面又は界面の効果を考慮に入れた多くのメカニズムがこれまでに提案されている.

収録刊行物

  • 窯業協會誌

    窯業協會誌 87 (1001), 19-27, 1979

    公益社団法人 日本セラミックス協会

被引用文献 (4)*注記

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