CVD法によるY<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, ZrO<sub>2</sub>及び安定化ZrO<sub>2</sub>薄膜の合成

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書誌事項

タイトル別名
  • Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, ZrO<sub>2</sub> and Stabilized ZrO<sub>2</sub> Films Prepared by Chemical Vapor Deposition
  • CVDホウ ニヨル Y2O3 ZrO2 オヨビ アンテイカ ZrO2 ハクマク

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説明

記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス

収録刊行物

  • 窯業協會誌

    窯業協會誌 90 (1037), 54-55, 1982

    公益社団法人 日本セラミックス協会

被引用文献 (2)*注記

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