書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Local CVD System for Observation of Carbon Nano Tube Growth under the Scanning Electron Microscopy
- カーボンナノチューブ ノ セイセイ カテイ カンサツ ノ タメ ノ ソウサガタ デンシ ケンビキョウ ナイキョクショ CVD ソウチ ノ カイハツ
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説明
カーボンナノチューブ (CNT) はその特異な性質から優れた微細構造要素として期待される. しかし, その生成過程は十分に解明されておらず, 実用化に有効な生成方法の開発は難しかった. そこで, 本研究はCNTの生成過程を明らかにするため, 走査型電子顕微鏡内でCNTを合成し, その過程を観察するための局所CVD装置を開発した. 観察の結果, 根元から5nm/secで成長する多層カーボンナノチューブの生成過程が確認された.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 71 (2), 211-215, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205280014592
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- NII論文ID
- 110001824116
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7243793
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可