書誌事項
- タイトル別名
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- Uncertainty Evaluation for the Low Thermal Expansion Glass Gauge Blocks by Optical Interferometry
- テイネツ ボウチョウ ガラスセイ チョウシャク ブロックゲージ ノ コウハ カンショウケイ ニ ヨル コウセイ フ タシカ サ ノ ヒョウカ
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説明
低熱膨張ガラス (クリアセラム) 製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確さの評価を行った. 使用したクリアセラム材の熱膨張係数はスチールに比べ約1/140である. リンギング, 干渉信号の端数測定等の不確かさ要因の評価を行い, 呼び寸法1000mmのクリアセラム製長尺ブロックゲージに対して, 標準不確かさ36nmという結果を得た. この不確かさはスチール製ブロックゲージに対する不確かさの約半分である.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 71 (5), 602-605, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205280428544
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- NII論文ID
- 10015529691
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7350544
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
