波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイのモジュール化技術(2)

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タイトル別名
  • Packaging Technology of MEMS Mirror Array for Wavelength Selective Switches (WSS) (2)

説明

波長選択スイッチ（WSS）用MEMSミラーアレイでは、狭ピッチにミラーが配列されるため、電気的な干渉が発生する。電気干渉によるミラーの角度変動は、WSSの損失変動の要因となるため、電気干渉低減が重要な課題の一つとなる。電気干渉を低減するため、ミラー駆動時に発生する電界をチャネル毎に分離する電極構造を開発し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、主軸および副軸駆動時における電気干渉低減効果を確認している。本稿では、WSS用MEMSミラーアレイのモジュール化技術として開発した電気干渉低減構造について、実装構造の観点から、特性と併せて検討した結果を報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205555744000
  • NII論文ID
    130005469640
  • DOI
    10.11486/ejisso.24.0_256
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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