ネガ型感光性ポリチオフェンの開発

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タイトル別名
  • A Negative-Type Photosensitive Poly(3-hexylthiophene) with Cross-Linker and Photoacid Generator

抄録

代表的なπ共役系ポリマーであるポリ（３－ヘキシルチオフェン）（Ｐ３ＨＴ）に、架橋剤と光酸発生剤を添加した３成分系の化学増幅型感光性Ｐ３ＨＴを開発し、その感光特性について検討を行った。今回開発した感光性Ｐ３ＨＴを用いることで、フォトレジストを用いることなくフォトリソグラフィーで直接Ｐ３ＨＴをパターニングする事が可能になり、Ｐ３ＨＴを活性層とした有機トランジスタなどの作製が簡便化されることが期待される。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205556492928
  • NII論文ID
    130005469864
  • DOI
    10.11486/ejisso.25.0_45
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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