分子汚染対策塗料によるクリーンルーム有機濃度低減効果

書誌事項

タイトル別名
  • The evaluation of chemical contamination control by low out-gassing paints in the cleanroom

説明

クリーンルーム環境中の分子状汚染物質は、近年半導体·液晶産業を始めとする先端産業では汚染要因として重要視されてきている。今回の開発では、鉄部に塗装されるエポキシ樹脂系塗料は汚染性の高い高沸点有機化合物や乾燥後に塗膜中に残存する遊離アミンを低減し、更に蒸発速度の早い有機溶剤組成として乾燥時間の短縮を行い。また、ボード及びコンクリート面に塗装される水性アクリル樹脂系塗料はアンモニアの発生を抑制すると共に添加物の揮発性有機溶剤、成膜助剤、凍結防止剤を排除し、有機化合物の発生を従来品の3分の1以下まで低減した。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205607549312
  • NII論文ID
    130006965879
  • DOI
    10.14820/finex.2002.0.15.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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