ダブルビーム式レーザドップラー速度計と有限要素法を用いた PZT-PNN 厚膜の圧電特性解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Piezoelectric property of PZT-PNN thick film determined by double beam laser-Doppler-velocimeter and finite element method
説明
近年、圧電体厚膜はその大きな圧電変位と発生力から、マイクロアクチュエータ応用を目的として活発に研究されている。本研究で我々はダブルビームドップラー速度計と有限要素法を組み合わせることで、 圧電体厚膜の圧電定数を決定する方法を提案した。PNN-PZT厚膜は界面重合法によりシリコン基板上に形成した。1mmφの孔を有する真鍮板を基板の裏面に貼り付け圧電膜の振動領域を制限した。この試料の振動姿態は有限要素法による計算結果と一致し、圧電膜の圧電定数と弾性定数を決定することができた。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2003S (0), 257-257, 2003
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205612396160
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- NII論文ID
- 130006968360
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
