Preparation of SiC-TiC composite films by RF magnetron sputtering
-
- Osugi Gaku
- Tohoku University
-
- Hotta Mikinori
- Tohoku University
-
- Goto Takashi
- Tohoku University
Bibliographic Information
- Other Title
-
- RFマグネトロンスパッタ法によるSiC-TiCコンポジット膜の作製
Abstract
近年、工具材料として多様に用いられているWの価格高騰にともない、優れた硬質コーティング材料の開発が求められている。その中でも、PVD法を用いた多元系セラミックス薄膜の研究が注目されている。これまでに、多元系セラミックス薄膜は、その超微細構造から、優れた特性を示すことが報告されている。SiCの高硬度、耐食性、TiCの高硬度、高温強度などそれぞれの優れた特性に加え、バルクSiC-TiC系では、その作製条件によってこれまでに三元化合物相や、微細なラメラ組織などを形成することが報告されており、膜の形でもさまざまな組織、優れた特性を示す可能性が示唆される。本研究では、SiC-TiC複合ターゲットを用いて、RFマグネトロンスパッタ法によりSiC-TiCコンポジット膜を作製し、製膜条件と得られた膜の結晶相および微細構造との関係を調べた。
Journal
-
- Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan
-
Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan 2008F (0), 796-796, 2008
The Ceramic Society of Japan
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205618891520
-
- NII Article ID
- 130006977669
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed