空圧式除振装置の供給空気圧変動外乱の抑制法
書誌事項
- タイトル別名
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- Control of Supplied Air Pressure Fluctuation for an Anti-vibration Apparatus
抄録
計測装置や半導体製造装置の性能の向上にともない，機器固有の許容振動レベルが非常に小さな値となっている。そのため，精密機械分野では床から装置へ伝わるμメートルオーダの微振動でも致命的なものになる。この振動を抑制するために空圧式除振装置が多く用いられる。同除振装置は空気圧利用機器であり，一定圧の圧縮空気が供給される必要性がある。一般的には空圧レギュレータにより平滑化された空気が供給されることを前提として制御が行われる。しかしコンプレッサにより生成された圧縮空気は，周期的な大きな圧力変動を持つ。また産業施設では圧縮空気が工場配管により他の空気圧利用機器に共有されることが一般的であるため，それらの施設の一部でなんらかの事故が生じたときや，圧縮空気の需要が一時的に高まるときに圧力の著しい変動が起こる。これらの圧力変動は簡易な空圧レギュレータで取り除けないことがあり，除振装置の制御系に外乱となって加わる。その結果，空気ばねで支持される台座の位置が揺動し，不安定になることが問題点として挙げられる(1)。本稿では，除振装置の供給空気圧変動に起因した台座の位置変動の対策として供給空気圧フィードフォワード（以下， FFと略記）制御と外乱オブザーバによる補償を採用し，除振装置制御の安定化が図れたことを示す。
収録刊行物
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- 自動制御連合講演会講演論文集
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自動制御連合講演会講演論文集 51 (0), 7-7, 2008
自動制御連合講演会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205646159744
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- NII論文ID
- 130005025253
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可