中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける帯電補正方法
書誌事項
- タイトル別名
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- Charge compensation method in XPS with flood gun and positive specimen bias
抄録
XPSを用いた化学結合状態分析では、ピーク半値幅が重要なパラメータである。しかし、絶縁物試料を測定すると帯電の影響により、ピーク半値幅が広がるため、中和銃などを用いて補正を行う。しかし、その際の中和条件が適切かどうかを判断するのは、かなりの経験を要するのが現状である。今回、中和銃を用いながら正の試料バイアスを印加することで、簡単に最狭のピーク半値幅が測定できる方法について報告する。
収録刊行物
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- 表面科学講演大会講演要旨集
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表面科学講演大会講演要旨集 27 (0), 200-200, 2007
公益社団法人 日本表面科学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205646188544
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- NII論文ID
- 130004673762
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可