中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける帯電補正方法

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タイトル別名
  • Charge compensation method in XPS with flood gun and positive specimen bias

抄録

XPSを用いた化学結合状態分析では、ピーク半値幅が重要なパラメータである。しかし、絶縁物試料を測定すると帯電の影響により、ピーク半値幅が広がるため、中和銃などを用いて補正を行う。しかし、その際の中和条件が適切かどうかを判断するのは、かなりの経験を要するのが現状である。今回、中和銃を用いながら正の試料バイアスを印加することで、簡単に最狭のピーク半値幅が測定できる方法について報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205646188544
  • NII論文ID
    130004673762
  • DOI
    10.14886/sssj.27.0.200.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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