3交点基準を用いた絶対平面形状測定
書誌事項
- タイトル別名
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- Absolute measurement of flatness with three fflats method
説明
平面度の干渉測定において3面合わせ法を用いれば直交する2本の線の絶対形状が得られる。次に被測定面を横シフトして回転させることで、この2本の線上の、交点から離れたある1点同士を互いに結ぶ線の絶対形状を求めると、平面上の3点を通る3本の線の絶対形状が得られることになる。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 458-458, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205647847296
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- NII論文ID
- 130005026748
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
